スピンコーター 標準機

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スピンコーターの機種選定について

基板の最大サイズで機種選定が決まります。
基板の材質(軽くて浮いてしまう)や、滴下する薬液の粘度が高いなどにはカスタマイズが必要となるかの判断が要りますので、事前にご相談いただくか、デモ機の貸し出し、サンプル測定のご依頼なども承っております。

スピンコーターの機種選定について
スピンコーター 安価機種 スピンコーター ACT-220DⅡ
スピンコーター ACT-300DⅡ
スピンコーター 高機能機種 スピンコーター ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-500AⅡ

※1分間に回る回転数=RPM

ACT-220DⅡ

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-300DⅡ
スピンコーター ACT-300DⅡ
本体価格 : \680,000
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-300AⅡ
本体価格 : \730,000
高性能仕様、Φ6インチ
(Φ150/□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
本体価格 : \1,500,000
高性能仕様 Φ8インチ
(Φ200/□140mm基板)
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター ACT-450AⅡ
本体価格 : \2,450,000
高性能仕様、Φ8インチ
(Φ280/□200mm基板)

セミカスタマイズ製品

スピンコーター ACT-500AⅡS
本体価格 : 要見積
納期 : 45日以内
 
スピンコーター
ACT-500AⅡS

Φ12インチ
(Φ300/□210mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転範囲/回転精度 :

10~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

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ACT-600AⅡS
本体価格 : 要見積
納期 : 50日以内
 
スピンコーター
ACT-600AⅡS

電送BOX分離式
Φ16インチ
(Φ400/□300mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転範囲/回転精度 :

10~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

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スピンコーター ACT-700AⅡS
本体価格 : 要見積
納期 : 60日以内
 
スピンコーター
ACT-700AⅡS

Φ20インチ
(Φ500/□360mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転範囲/回転精度 :

10~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)

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