スピンコーター、クリーンブース、特殊電気炉等の製品をカスタマイズ・設計・製作・販売

基板の最大サイズで機種選定が決まります。
基板の材質（軽くて浮いてしまう）や、滴下する薬液の粘度が高いなどにはカスタマイズが必要となるかの判断が要りますので、事前にご相談いただくか、デモ機の貸し出し、サンプル測定のご依頼なども承っております。

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター ACT-220AⅡ 本体価格 ： \600,000 Φ6インチウェハ対応 (Φ150／□110mm基板)

スピンコーター ACT-300AⅡ 本体価格 ： \730,000 高性能仕様、Φ6インチ (□110mm基板)

スピンコーター ACT-400AⅡ 本体価格 ： \1,500,000 高性能仕様　Φ8インチ (Φ200／□140mm基板）

スピンコーター ACT-450AⅡ 本体価格 ： \2,450,000 高性能仕様、Φ8インチ (Φ280／□200mm基板)

セミカスタマイズ製品

本体価格 : 要見積 納期 ： 45日以内

スピンコーター ACT-500AⅡS Φ12インチ (Φ300／□210mm基板) 電源 : 三相200V　20A 回転範囲/回転精度 : 10～5000rpm/±1rpm以下（負荷に応じて要相談） 詳細を見る

本体価格 ： 要見積 納期 ： 50日以内

スピンコーター ACT-600AⅡS 電送BOX分離式 Φ16インチ (Φ400／□300mm基板) 電源 : 三相200V　20A 回転範囲/回転精度 : 10～5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談） 詳細を見る