スピンコーター、クリーンブース、特殊電気炉等の製品をカスタマイズ・設計・製作・販売

まずは回したい基板の最大サイズからスピンコーターの機種を選定いたします。

スピンコートしたい基板がフィルム上で薄い、厚みがある、基板材質が軽く浮きやすいものである、粘度の高い液体をスピンコートしたい、など求められる条件はお客様により様々です。求める性能、基板の材質・形状や、滴下する薬液によって適切なオプションも異なります。お気軽にご相談下さい。

実機購入を悩んでいるお客様の為にデモ機の貸し出し、サンプルテストのご依頼も承っておりますので是非ご利用ください。

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター ACT-220AⅡ 本体価格 ： \650,000 Φ4インチウェハ対応 (Φ100／□70mm基板)

スピンコーター ACT-300AⅡ 本体価格 ： \730,000 高性能仕様、Φ6インチ (Φ150／□110mm基板)

スピンコーター ACT-400AⅡ 本体価格 ： \1,500,000 高性能仕様　Φ8インチ (Φ200／□150mm基板）

スピンコーター ACT-450AⅡ 本体価格 ： \2,450,000 高性能仕様、Φ10インチ (Φ250／□180mm基板)