スピンコーター 標準機

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スピンコーターの機種選定について

まずは回したい基板の最大サイズからスピンコーターの機種を選定いたします。

ACT-220AⅡは最も小型の機種で安価で基板サイズの条件さえあえばおすすめです。
ただ小型であることに特化した機種の為、函体そのものが小さくカスタマイズ分の電装を収納する余分がありません。特注仕様をご希望の場合はACT-300AⅡ以上をご選択いただくことになります。

スピンコートしたい基板がフィルム上で薄い、厚みがある、基板材質が軽く浮きやすいものである、粘度の高い液体をスピンコートしたい、など求められる条件はお客様により様々です。求める性能、基板の材質・形状や、滴下する薬液によって適切なオプションも異なります。お気軽にご相談下さい。

実機購入を悩んでいるお客様の為にデモ機の貸し出しサンプルテストのご依頼も承っておりますので是非ご利用ください。

機種

基板サイズ(mm)

φ5~100

φ150

φ200

φ250

φ300

φ400

φ500

□5~70

□110

□150

□180

□220

□300

□360

ACT-220AⅡ

 

 

 

 

 

 

 

ACT-300AⅡ

 

 

 

 

 

 

 

ACT-400AⅡ

 

 

 

 

 

 

 

ACT-450AⅡ

 

 

 

 

 

 

 

ACT-500AⅡ

 

 

 

 

 

 

 

ACT-600AⅡ

 

 

 

 

 

 

 

ACT-700AⅡ

 

 

 

 

 

 

 

製品動画


※他のスピンコーター動画もアクティブのYouTubeでご覧いただけます※

ACT-220DⅡ

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-220AⅡ
スピンコーター ACT-220AⅡ
本体価格 : \650,000
Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-300AⅡ
本体価格 : \730,000
高性能仕様、Φ6インチ
(Φ150/□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
本体価格 : \1,500,000
高性能仕様 Φ8インチ
(Φ200/□150mm基板)
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター ACT-450AⅡ
本体価格 : \2,450,000
高性能仕様、Φ10インチ
(Φ250/□180mm基板)
スピンコーター ACT-500AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-500AⅡ

Φ12インチ
(Φ300/□220mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

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ACT-600AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-600AⅡ

Φ16インチ
(Φ400/□300mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

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スピンコーター ACT-700AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-700AⅡ

Φ20インチ
(Φ500/□360mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)

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スピンコーター特注機に関するご案内はこちらから

スピンコーターのカスタマイズ製品をお求めの方はこちらから。多種多様なニーズに応えるため、仕様選択が可能です。

 

スピンエッチング装置・スピン洗浄機・スピン乾燥機に関するご案内はこちらから

スピン制御技術を活用したスピン洗浄機、スピン乾燥機、スピンエッチング装置も各御要望に合わせた製品が納入可能です。

How to スピンコーター

スピンコーターの構造  

スピンコーターの構造

スピンコーターの構造・部品の解説と、カップ内径・基板のサイズについて解説いたします。

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スピンコーターの設定について  

スピンコーターの設定について

アクティブのスピンコーターは、使用目的に合わせて、「回転数」「加減速」「キープ時間」を多彩に設定することが可能です。

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操作画面  

操作画面

アクティブのスピンコーターは、多彩なプログラムと操作がパネルで一覧。確認しながら操作できます。

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試料台物性表・資料耐薬データ  

試料台物性表・資料耐薬データ

スピンコーターの試料台物性表、および試料台耐薬データを紹介します。

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スピンコーターコラム

スピンコーターの膜圧  

スピンコーターの膜厚とは

膜厚(膜の厚さ)を一定にするためには技術が必要ですが、スピンコーターを使用することで高品質の塗膜を効率よく均一に生成することができます。

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小型・卓上スピンコーターのメリットとは?  

小型・卓上スピンコーターのメリットとは?

小型や卓上サイズのスピンコーターは、小さくても頼れる存在であるため、購入をご検討されている企業様は非常に多いです。

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スピンコーターの熱問題。どう解決する?  

スピンコーターの熱問題。どう解決する?

スピンコーターは、効率良く塗膜を生成する機器です。均一の塗膜生成には薬液の粘度や温度などの条件が関係していて、条件が変わると膜の厚さを均一にすることができなくなります。

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スピンコーターを低価格で買うと・・・?  

スピンコーターを低価格で買うと・・・?

低価格のスピンコーターを購入した場合、考えられるデメリットとしては様々なことが挙げられます。

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