まずは回したい基板の最大サイズからスピンコーターの機種を選定いたします。
ACT-220AⅡは最も小型の機種で安価で基板サイズの条件さえあえばおすすめです。
ただ小型であることに特化した機種の為、函体そのものが小さくカスタマイズ分の電装を収納する余分がありません。特注仕様をご希望の場合はACT-300AⅡ以上をご選択いただくことになります。
スピンコートしたい基板がフィルム上で薄い、厚みがある、基板材質が軽く浮きやすいものである、粘度の高い液体をスピンコートしたい、など求められる条件はお客様により様々です。求める性能、基板の材質・形状や、滴下する薬液によって適切なオプションも異なります。お気軽にご相談下さい。
実機購入を悩んでいるお客様の為にデモ機の貸し出し、サンプルテストのご依頼も承っておりますので是非ご利用ください。
スピンコーターのカスタマイズ製品をお求めの方はこちらから。多種多様なニーズに応えるため、仕様選択が可能です。
スピン制御技術を活用したスピン洗浄機、スピン乾燥機、スピンエッチング装置も各御要望に合わせた製品が納入可能です。
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スピンコーターの試料台物性表、および試料台耐薬データを紹介します。 |
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