スピンコーター オプション

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試料台

スピンコートしたい基板をのせるための台

試料台  

アクティブスピンコーターを使用するのに必須のアイテムとなります。

スピンコートしたい基板の厚みを含めたサイズ・形状(〇か□か)・材質、スピンコート液の特性(粘度など)、真空吸着の有無等により適切な試料台が異なるため、打ち合わせ後製作いたします。材質はPOM、ダイフロン、テフロン、PEEK、アルミ(アルマイト処理)から適切な素材を選定いたします。アルミはテフロンコーティングを施すことも可能です。

複数の基板を回したい場合は、サイズによっては兼用できますが、必要に応じて複数の試料台をご購入いただいております。試料台は後から追加でご注文いただくことも可能です。

真空ポンプ

基板を真空吸着するためのポンプ

アクティブスピンコーターを使用するのに必要な基板吸着用の真空ポンプです。 

基板のサイズ等により必要な排気量が異なります。アクティブスピンコーターと簡単に接続できるよう接続口を改造してあり、透明ウレタン製Φ6mm真空チューブが3m付属します。
 
なお、真空吸着でない手法でスピンコートすることも可能です。ご相談ください。

安全カバー電磁ロック

レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

標準仕様でもインターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)がついていますが、更に安全性を求める場合はこちらのオプションをお選びください。レシピがスタートすると終了するまで安全カバーがロックされ開かなくなるので安心です。

ACT-220AⅡ+電磁ロック扉開   ACT-220AⅡ+電磁ロック扉閉
スピンコーターACT-220AⅡ+試料台+電磁ロック扉開   スピンコーターACT-220AⅡ+試料台+電磁ロック扉閉

カップ・インナーカップ テフロンコーティング

耐薬品性を向上させるテフロンコーティング

ステンレス製(ミガキ#400標準)のカップ・インナーカップにテフロンコーティングを施すことで耐薬品性を向上させることが可能です。ご使用の溶剤、コーティング液に応じてご選択いただくオプションとなります。

ステンレス製(ミガキ#400標準)の本体外装カバーのテフロンコーティングもご要望がございましたらお受けしておりますのでご相談ください。

センターリング簡易治具

基板を手動で試料台の中心に乗せるのを助ける治具

主にφ100mmよりも大きな基板をスピンコートする際と、エッジリンス機能搭載のスピンコーターにお勧めしているオプションとなります。

センターリング簡易治具は基板を試料台に正しくセットするのをサポートする道具です。スピンコーターは回転により塗膜を生成する為、中心がずれると成膜に影響がでやすい傾向にあります。よりよい塗膜を得るのにあると便利な治具になります。エッジリンスはその名の通り基板のエッジ(縁)を洗う目的の為、中心がずれていると上手く機能しません。

スイングアーム&滴下ユニット

スイングアームと溶液を滴下するユニットを搭載して特注仕様に

スピンコーター特注機 自動滴下  

スピンコートする溶液や、洗浄水を滴下するユニットです。もっともご要望の多いのは自動スイングアームと合わせた特注仕様で「自動滴下スピンコーター」になります。滴下の系統も複数搭載することが可能です。滴下の方法はいくつかございますので、詳細をお伺いしつつ適切なスピンコーターを設計製作いたします。


自動スイングアームはXY軸だけでなくZ軸にもステッピングモーターを搭載することで高い精度の位置合わせが可能になります。また、複数の自動スイングアームを搭載することも可能です。

自動までは不要という場合は、手動スイングアーム仕様にも設計可能です。


滴下ユニットには実験用に手軽なPPシリンジ微加圧仕様、実験用にも量産用にも向く精密な制御が可能で複数搭載しやすいコンパクトサイズのマイクロシリンジ仕様・容量が多く量産用に向く加圧タンク仕様などがございます。電動マイクロピペッターを搭載することも可能です。また、複数の滴下ユニットをひとつのスイングアームに搭載することも可能です。


スピンコートの後工程、洗浄目的であるリンス機能(エッジリンス・バックリンス)には容量の多い加圧タンク仕様が向いております。同じリンス液であることが多いため、加圧タンクを兼用としてコストを抑えることが可能です。


洗浄や乾燥の機能を持たせる場合は、超音波ノズル・二流体ノズル・高圧スプレーノズル・N2(窒素ガス) or CDA(クリーンドライエアー)などを搭載します。

高回転仕様

標準機よりも高回転にアップグレードした特注仕様に

標準機の仕様よりも高い回転数を必要とする場合はご相談ください。
よりパワーのあるモーターや、プーリー(滑車)の仕組みを併用することで回転数を上げることが可能です。

ACT-220AⅡH、ACT-300AⅡH、ACT-400AⅡHであればMAX14000rpmまで上げることができます。
φ20mm程度の小さい基板であればMAX6万rpmまでの超高回転仕様ACT-200SM-Sもございます。

それ以上のカップサイズを有する機種ですと基板重量などとの兼ね合いがございますので回転数についてはご相談ください。

高回転仕様でだせる回転数はスピンコートしたい基板等の条件により変わり、記載のMAX回転数に安全面からも設定できない場合がございます。特注仕様となりますので、詳細をお伺いしつつ適切な回転数のスピンコーターを設計製作いたします。

特注仕様

ご希望に合わせて安価に設計・製作する特注仕様

スピンコーター特注機  

お客様の目的やご要望を元に必要な各種ユニットを組み合わせて造り上げます。

薬液の自動滴下、液垂れ防止、エッジリンス・バックリンス対応、自動搬送ロボット対応、高回転仕様、簡易防爆、電装ボックス分離式、スピン乾燥、スピン洗浄、スピンエッジング・・・など、まずはご希望をお聞かせください。


詳細はスピンコーター特注機にてご案内しております。


特注仕様はベースとなるスピンコーター標準機本体の価格ではなく、拡張性を持たせた特注用のスピンコーター本体価格に各種ユニット価格を足していきます。

ただいまHPにご依頼の多い自動滴下スピンコーターを【準標準機(仮称)】として掲載する準備をしております。その際には【準標準機(仮称)】の本体価格として特注用スピンコーター本体価格もご案内できるかと思います。

より分かりやすくなるよう努めてまいりますので何卒よろしくお願いいたします。