スピンコーター オプション

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試料台

スピンコートしたい基板をのせるための台

試料台  

アクティブスピンコーターを使用するのに必須の受注生産品です。

基板の厚みやサイズ、真空吸着の有無等により適切な試料台が異なるため、打ち合わせ後製作いたします。材質はPOM、ダイフロン、テフロン、PEEK、アルミから適切な素材を選定いたします。アルミはテフロンコーティングを施すことも可能です。

複数の基板を回したい場合は、サイズによっては兼用できますが、必要に応じて複数の試料台をご購入いただいております。試料台は後から追加でご注文いただくことも可能です。

真空ポンプ

基板を真空吸着するためのポンプ

アクティブスピンコーターを使用するのに必要な基板吸着用の真空ポンプです。 

基板のサイズ等により必要な排気量が異なります。アクティブスピンコーターと簡単に接続できるよう接続口を改造してあり、透明ウレタン製Φ6mm真空チューブが3m付属します。
 
なお、真空吸着でない手法でスピンコートすることも可能です。ご相談ください。

安全カバー電磁ロック

レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

標準仕様でもインターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)がついていますが、更に安全性を求める場合はこちらのオプションをお選びください。レシピがスタートすると終了するまで安全カバーがロックされ開かなくなるので安心です。

ACT-220AⅡ+電磁ロック扉開   ACT-220AⅡ+電磁ロック扉閉
スピンコーターACT-220AⅡ+試料台+電磁ロック扉開   スピンコーターACT-220AⅡ+試料台+電磁ロック扉閉

カップ・インナーカップ テフロンコーティング

耐薬品性を向上させるテフロンコーティング

ステンレス製(ミガキ#400標準)のカップ・インナーカップにテフロンコーティングを施すことで耐薬品性を向上させることが可能です。ご使用の溶剤、コーティング液に応じてご選択いただくオプションとなります。

ステンレス製(ミガキ#400標準)の本体外装カバーのテフロンコーティングもご要望がございましたらお受けしておりますのでご相談ください。

センターリング簡易治具

基板を手動で試料台の中心に乗せるのを助ける治具

主にφ100mmよりも大きな基板をスピンコートする際にお勧めしているオプションとなります。

センターリング簡易治具は基板を試料台に正しくセットするのをサポートする道具です。スピンコーターは回転により塗膜を生成する為、中心がずれると成膜に影響がでやすい傾向にあります。よりよい塗膜を得るのにあると便利な治具になります。

滴下ユニット

溶液を滴下するユニット

スピンコーター特注機 自動滴下  

スピンコートする溶液や、洗浄水を滴下するユニットです。手動滴下を補助するために取り付けることもございますが、もっともご要望の多いのは自動スイングアームと合わせた特注仕様、自動滴下スピンコーター用です。滴下の方法はいくつかございますので、詳細をお伺いしつつ適切なスピンコーターを設計製作いたします。

高回転・高精度仕様

標準機の仕様よりも高回転・高精度にアップグレード

標準機の仕様よりも回転数が欲しいなど、ご希望があればより強力なモーターを搭載することも可能です。特注仕様となりますので、詳細をお伺いしつつ適切なスピンコーターを設計製作いたします。

特注仕様

希望に合わせて安価に設計・製作

スピンコーター特注機  

お客様の目的や要望を元に必要な各種ユニットを組み合わせて造り上げます。

薬液の自動滴下、液垂れ防止、エッジリンス・バックリンス対応、自動搬送ロボット対応、高回転仕様、簡易防爆、電装ボックス分離式、スピン乾燥、スピン洗浄、スピンエッジング・・・など、まずはご希望をお聞かせください。


詳細はスピンコーター特注機にてご案内しております。