カップ内径と基板サイズ

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カップ内径と基板サイズ、試料台について


カップ内径と基板サイズについて
 

スピンコーター標準機の仕様にある「適応基板サイズ」と「カップ(内径)」に関しましては左図をご参照ください。カップ内径が大きいほど大きな基板を回せるようになります。これが7タイプある標準機、各機種の主な違いです。数字が大きいほど大きい基板をスピンコートできる装置となります。「適応基板サイズ」は物理的に回せる最大サイズではなく、安全性を見込んだ保証範囲内のサイズです。

図中にございます試料台はスピンコーターをご使用いただくのに必須のアイテムですが、お客様のスピンコートしたい基板の特徴・サイズ、塗布したい溶剤に合わせた受注製作の為、オプションとしてご用意しております。形状、材質もご用途に合わせて決めていきますので、価格は都度お見積もりとなります。図中にはございませんが、オプションの真空ポンプも必須アイテムです。求められる吸着力に応じて選定いたします。

基板を真空吸着するため、試料台の吸着部サイズより基板は大きい必要があります。小さいと真空吸着ができません。逆に大きすぎると真空吸着部分の少なさゆえに回転中に吹き飛ぶ危険性があります。複数基板を回したい場合はそれぞれに専用の試料台を作成することをお勧めいたします。兼用できるかのご相談は承りますので、お問い合わせの際は回したい基板すべての情報をお知らせください。

また、真空吸着によらない手法もございます。お問い合わせください。

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