スピンコーター 価格比較表

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スピンコーター性能・価格・オプション比較表

アクティブスピンコーター各機種の基本性能と価格、オプションをまとめています。
詳細は各機種のページでご確認ください。

スピンコーター標準機
スピンコーター高精度・高速回転仕様
〇スピンコーター自動滴下仕様(近日公開)


スピンコーターは本体だけでは使用できません。オプションの試料台と真空ポンプ(基板吸着用)は必ず必要になります。
※真空吸着によらない基板固定方法の場合は真空ポンプは不要です。

スピンコーター標準機・オプション価格表

(価格単位:円)

標準機 ACT-220AⅡ ACT-300AⅡ ACT-400AⅡ ACT-450AⅡ ACT-500AⅡ ACT-600AⅡ ACT-700AⅡ
対応基板MAXサイズ
(mm)
φ100 φ150 φ200 φ250 φ300 φ400 φ500

□70

□110 □150 □180 □220 □300 □360
回転数(rpm)
~MAX
0~7000 0~6000 0~5000
条件により6000も可 
 0~5000
負荷により要相談
0~3000
負荷により要相談
回転制御 ±1rpm ±5rpm
納期 25日間 40日間 3ヶ月間
本体価格 650,000 730,000 1,500,000 見積
(ワーク重量等ご要望により仕様が変動する為、下記は目安です)
2,500,000~ 3,000,000~ 3,500,000~ 5,000,000~
梱包
運賃(国内発送時)
10,000
(軒先渡し)
30,000
(軒先渡し)

見積
(軒先渡し・車上渡し)

見積
(車上渡し)
試料台 40,000~ 100,000~




12S
排気量12L/min
40,000
30S
排気量24L/min
73,000
40S
排気量40L/min
85,000
安全カバー電磁ロック 120,000
カップ内面
テフロンコーティング
50,000 60,000 70,000 80,000 150,000 150,000
センターリング
簡易治具
30,000~ 40,000~ 60,000~
※詳細情報は各機種のページにてご確認ください。
※標準納期となります。納期は受注の混み具合によっても変動いたします。都度ご確認ください。
※真空ポンプの排気量は50Hzの際のものです。
※梱包・運賃は標準機の場合です。特注機は都度お見積りとなります。

スピンコーター高精度・高速回転仕様・オプション価格表

(価格単位:円)

高速回転仕様 ACT-
220AⅡ-HS
ACT-
300AⅡ-HS
ACT-
400AⅡ-HS
ACT-
450AⅡ-HS
ACT-
500AⅡ-HS
ACT-
600AⅡ-HS
ACT-
700AⅡ-HS
回転数(rpm)
~MAX
0~14000 標準仕様よりも高回転仕様にすることは可能です
ご相談ください
回転制御 ±2rpm
対応基板MAXサイズ
(mm)
φ100 φ150 φ200 φ250 φ300 φ400 φ500

□70

□110 □150 □180 □220 □300 □360
納期 45日間
見積
試料台 40,000~ 100,000~




12S
排気量12L/min
40,000
30S
排気量24L/min
73,000
40S
排気量40L/min
85,000
安全カバー電磁ロック 120,000
カップ内面
テフロンコーティング
50,000 60,000 70,000 80,000 150,000 150,000
センターリング
簡易治具
30,000~ 40,000~ 60,000~
スイングアーム
&滴下ユニット
見積
特注 見積
※φ20mm程度の小さい基板であればMAX6万rpmまでの超高回転仕様ACT-200SM-Sもございます。
※高回転仕様でだせる回転数はスピンコートしたい基板等の条件により変わり、記載のMAX回転数に安全面からも設定できない場合がございます。回転数の詳細はご相談にて決定いたします。
※真空ポンプの排気量は50Hzの際のものです。