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Φ6インチウェハ対応
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特徴 |
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・ | 高精度・高速回転(MAX14000rpm)のスピンコーター |
・ | インターロックセンサー付き安全カバーが標準装備 |
・ | 安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能 |
・ | 多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載 |
・ | さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応 |
・ | カップテフロンコーティングや自動滴下などのオプションにも対応可能 |
用途 |
液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療 関連 |
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基板サイズ | Φ5~Φ150 (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応 |
カップ(内径) | Φ300 (インナーカップΦ297) |
外形寸法 | 350w×570d×410h(安全カバー閉時) |
電源 | 1Φ 100V-5A (ACサーボモータ400W) 50/60Hz |
回転制御速度/回転精度 |
0~14000rpm/±2rpm以下 (負荷時) |
最高回転数までの加速時間 |
14000rpm/2.5sec以下(負荷により最速調整可能) |
基板吸着圧力 | -70~-80KPa |
真空ポンプ排気量 12L/min以上 (装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続) | |
ステップ数&パターン数 |
10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準) 50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定下さい) |
表示画面 | 液晶表示 (表示20文字4行) レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示 |
制御方法 | マイコン制御 (テンキー入力でプログラム簡単) |
本体外装カバー・カップ材質 |
SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可) |
安全対策 |
インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止) 基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない) |
重量 | 約35Kg |
受注後の標準納期 | 約45日間(都度ご確認ください) |
(納期 : 約20日間) |
基板サイズにより、打ち合わせ後製作
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別途御見積 (¥40,000~) |
(基板吸着用) |
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造 |
¥73,000 |
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造 ・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz) ・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製 |
¥40,000 | |
安全カバー電磁ロック |
レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない |
¥120,000 |
カップ | カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング | ¥50,000 |
センターリング簡易治具 |
基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製) |
別途御見積 (¥60,000~) |
スイングアーム &滴下ユニット |
・50mlディスポシリンジ加圧式(滴下量時間制御) | 別途御見積 |
・1L加圧タンク方式(滴下量時間制御) | ||
・マイクロシリンジ方式(滴下量マイクロリットル制御) | ||
・電動マイクロピペッター方式(滴下量マイクロリットル制御) | ||
特注仕様 | お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。 | 別途御見積 |
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スピン制御技術を活用したスピン洗浄機、スピン乾燥機、スピンエッチング装置も各御要望に合わせた製品が納入可能です。