高精度・高速回転スピンコーター　ACT-300AⅡ-HS

14000rpmの高速回転　ACT-300AⅡ-HS

ACT-300AⅡ-HS高速回転スピンコーター  

Φ6インチウェハ対応
（Φ150／□110mm基板）対応

特徴
・ 高精度・高速回転（MAX14000rpm）のスピンコーター
・ インターロックセンサー付き安全カバーが標準装備
・ 安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能
・ 多段式で10ステップ・100パターン　プログラムメモリ搭載
・ さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応
・ カップテフロンコーティングや自動滴下などのオプションにも対応可能
用途
液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療 関連
     

仕様

基板サイズ Φ5～Φ150 （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ） 基板対応
カップ（内径） Φ300 （インナーカップΦ297）
外形寸法 350w×570d×410h（安全カバー閉時）
電源 1Φ　100Ｖ－5Ａ （ACサーボモータ400Ｗ） 50／60Ｈｚ
回転制御速度/回転精度

0～14000rpm/±2rpm以下 (負荷時)
最高回転数までの加速時間

14000rpm/2.5sec以下（負荷により最速調整可能）
基板吸着圧力 -70～-80KPa
真空ポンプ排気量　12L/min以上 （装置側　外径Φ6チューブワンタッチ接続）
ステップ数＆パターン数

10ステップ・100パターン （プログラムメモリ機能　標準）

50ステップ・20パターンに変更可能（ご注文時にご指定下さい）
表示画面 液晶表示 (表示20文字4行)
レシピNo.、回転数、時間、吸着圧力表示
制御方法 マイコン制御 （テンキー入力でプログラム簡単）
本体外装カバー・カップ材質

SUS304　電解研磨（オプションにてテフロンコーティング可）
安全対策

インターロックセンサー付き安全カバー（回転中カバー開で自動回転停止）

基板吸着圧力のインターロック機能付き（未吸着時は回転しない）
重量 約35Kg
受注後の標準納期 約45日間（都度ご確認ください）
※仕様詳細はお打ち合わせの上、ご要望に沿うように決定してまいります。
※上記基本スペックは搭載オプション・仕様により変更になる可能性がございます。
※是非一度お問い合わせ下さい。

オプション

試料台（チャック）
材質・耐薬データ

（納期 :  約20日間）

 

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択：POM、ダイフロン、テフロン、ＰＥＥＫ、アルミ
※アルミはテフロンコーティング選択可

 

 別途御見積
(¥40,000～)

真空ポンプ

（基板吸着用）

・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S　接続口改造
・排気速度(L/min)：24/30(50/60Hz)
・真空チューブ　Φ6×3ｍ　透明ウレタン製

 ¥73,000
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S　接続口改造
・排気速度(L/min)：12/14(50/60Hz)
・真空チューブ　Φ6×3ｍ　透明ウレタン製		 ¥40,000
安全カバー電磁ロック

レシピスタート～終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

 ¥120,000
カップ カップ＆インナーカップ内面テフロンコーティング ¥50,000
センターリング簡易治具

基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製（デルリン製）

 別途御見積
(¥60,000～)
スイングアーム
＆滴下ユニット		 ・50mlディスポシリンジ加圧式（滴下量時間制御） 別途御見積
・1L加圧タンク方式（滴下量時間制御）
・マイクロシリンジ方式（滴下量マイクロリットル制御）
・電動マイクロピペッター方式（滴下量マイクロリットル制御）
特注仕様 お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。 別途御見積

スピンコーター　ご依頼の多い特注機

高精度・高回転
ACT-300AⅡ-HS
スピンコーター　高精度・高回転ACT-300AⅡ-HS
MAX14,000±2rpm
Φ6インチウェハ対応
(Φ150／□110mm基板)
 
超高速回転
ACT-200SM-S
スピンコーター　超高速回転ACT-200SM-S
1,000～60,000rpm±1%以下
φ20mm基板用試料台実績値
(Φ3～50mm基板対応)
精密自動滴下
ACT-300AⅡS
スピンコーター　精密自動滴下ACT-300AⅡS
マイクロシリンジポンプ
最大15台連結可能
Φ6インチウェハ対応
(Φ150／□110mm基板)
 
試料台加熱式
ACT-300AⅡ-H
スピンコーター　試料台加熱式ACT-300AⅡ-H
常温～150℃±5℃(PID制御)
Φ6インチウェハ対応
(Φ150／□110mm基板)

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