自動滴下スピンコーター

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人気の特注機 自動滴下スピンコーター

自動滴下スピンコーター  

φ5基板~対応(仕様による)

特徴
人気の特注機、自動滴下スピンコーター

自動スイングアーム付き

カップ外周排気

瞬間スピンコーティング 角基板の膜圧高精度対応

用途

液晶などのディスプレイ関連、CD/DVDなどの光ディスク関連、

半導体関連、ナノテク/バイオ関連、太陽電池関連、住宅機材関連、

最先端医療関連

         
 

仕様

基板サイズ 仕様内容による。別途お知らせ致します。(φ5基板~対応)
ワークの重量 ワークの重量についてはご相談ください。
カップ(内径) 仕様内容による。別途お知らせ致します。
外形寸法 仕様内容による。別途お知らせ致します。
電源 仕様内容による。別途お知らせ致します。
回転範囲/回転数精度 仕様内容による。別途お知らせ致します。
真空 Torr(mmHg) 仕様内容による。別途お知らせ致します。
ステップ数&パターン数 10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準)
表示画面 仕様内容による。別途お知らせ致します。
制御方法 仕様内容による。別途お知らせ致します。
カップ材質

ステンレス製 ミガキ#400標準

(オプションにてカップ&インナーカップ内面テフロンコーティング可)

安全カバー インターロックセンサー付き(回転中カバー開で自動回転停止)
重量 仕様内容による。別途お知らせ致します。
受注後納期 仕様内容による。別途お知らせ致します。

価格表

本体価格 特注機

要御見積

梱包・運賃費 国内一律 /車上渡し 別途御見積

オプション

試料台(チャック)
材質、耐薬データ

(納期 : 20日以内)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:デルリン、テフロン、PEEK、アルミ

※アルミはテフロンコーティング選択可

別途御見積

真空ポンプ

(基板吸着用)

 

・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ40S 接続口改造
・排気速度(L/min):40/46(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製

¥85,000
・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造
・排気速度(L/min):24/30(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥73,000

・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製

¥40,000

安全カバー電磁ロック レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない ¥120,000
カップ カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング 別途御見積
センターリング簡易治具

基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製)

別途御見積

スピンコーター標準機一覧

スピンコーター
ACT-220AⅡ
スピンコーター ACT-220AⅡ
本体価格 : \650,000
Φ4インチウェハ対応
(Φ100/□70mm基板)
 
スピンコーター
ACT-300AⅡ
スピンコーター ACT-300AⅡ
本体価格 : \730,000
高性能仕様、Φ6インチ
(Φ150/□110mm基板)
スピンコーター
ACT-400AⅡ
スピンコーター ACT-400AⅡ
本体価格 : \1,500,000
高性能仕様 Φ8インチ
(Φ200/□150mm基板)
 
スピンコーター
ACT-450AⅡ
スピンコーター ACT-450AⅡ
本体価格 : \2,450,000
高性能仕様、Φ10インチ
(Φ250/□180mm基板)
スピンコーター ACT-500AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-500AⅡ

Φ12インチ
(Φ300/□220mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
ACT-600AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-600AⅡ

Φ16インチ
(Φ400/□300mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~5000rpm/±1rpm以下(負荷に応じて要相談)

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スピンコーター ACT-700AⅡ
本体価格 : 要見積
 
スピンコーター
ACT-700AⅡ

Φ20インチ
(Φ500/□360mm基板)

電源 : 三相200V 20A

回転制御速度/回転精度 :

0~3000rpm/±5rpm以下(負荷に応じて要相談)

詳細を見る
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