精密自動滴下スピンコーター ACT-300AⅡS

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㎕レベルで制御可能な精密自動滴下スピンコーター

ACT-300AⅡ-S精密自動滴下スピンコーター上記製作例では下記等も搭載されております

・天面にクリーンエアーの吸気口

・スピンコート時のフタ閉め機構

その他ご要望のオプションを搭載可能です

 

Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)対応

特徴
積層(多層膜)の成膜作成に適した高精度な自動滴下スピンコーター
マイクロシリンジポンプは最大で15台連結可能
シリンジ容量は2.5ml・5ml・10mlより選択可能
インターロックセンサー付き安全カバーが標準装備
非常停止ボタンを標準装備
多段式で10ステップ・100パターン プログラムメモリ搭載
スピンドル部のチラー冷却により成膜の安定性が向上
角基板の4隅部の成膜性向上ユニット搭載
用途
液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療 関連
     

仕様

基板サイズ Φ5~Φ150 (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応
カップ(内径) Φ300 (インナーカップΦ297)
外形寸法 785w×700d×900h(アジャスタ付水平調整可能)
マイクロシリンジポンプ3台搭載時 搭載台数変更時は別途決定
電源 1Φ 100V-5A (ACサーボモータ200W) 50/60Hz
回転制御速度/回転精度

0~6000rpm/±1rpm以下 (負荷時)

最高回転数までの加速時間

6000rpm/1.5sec以下(標準負荷時)

基板吸着圧力 -70~-80KPa
真空ポンプ排気量 12L/min以上 (装置側 外径Φ6チューブワンタッチ接続)
ステップ数&パターン数

10ステップ・100パターン (プログラムメモリ機能 標準)

50ステップ・20パターンに変更可能(ご注文時にご指定下さい)

表示画面 液晶表示 (表示40文字4行)
レシピNo.、吸着圧力、回転数、加減速時間、回転時間、ノズル選択、ノズルSTART・STOP座標入力 が常時表示
制御方法 マイコン制御 (テンキー入力でプログラム簡単)
本体外装カバー・カップ材質

SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)

安全対策

インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)

基板吸着圧力のインターロック機能付き(未吸着時は回転しない)

非常停止ボタン

重量 約40Kg
受注後の標準納期 約3ヶ月間(要ご相談)
※仕様詳細はお打ち合わせの上、ご要望に沿うように決定してまいります。
※上記基本スペックは搭載オプション・仕様により変更になる可能性がございます。
※是非一度お問い合わせ下さい。

オプション

(価格単位:円)

試料台(チャック)
材質・耐薬データ

(納期 :  約20日間)

 

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:POM、ダイフロン、テフロン、PEEK、アルミ
※アルミはテフロンコーティング選択可

 

別途御見積
(¥40,000~)

真空ポンプ

(基板吸着用)

・ダイアフラム式ドライ真空ポンプ30S 接続口改造
・排気速度(L/min):24/30(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製

¥73,000
・小型ダイアフラム式ドライ真空ポンプ12S 接続口改造
・排気速度(L/min):12/14(50/60Hz)
・真空チューブ Φ6×3m 透明ウレタン製
¥40,000
安全カバー電磁ロック

レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

¥120,000
カップ カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング ¥50,000
センターリング簡易治具

基板サイズと試料台形状により打ち合わせ後作製(デルリン製)

別途御見積
(¥60,000~)
高回転仕様 MAX14000rpmまで可能です。ご相談ください。 別途御見積
特注仕様 お客様の希望に合わせて安価に設計・製作いたします。 別途御見積

スピンコーター ご依頼の多い特注機

高精度・高回転
ACT-300AⅡ-HS
スピンコーター 高精度・高回転ACT-300AⅡ-HS
MAX14,000±2rpm
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)
 
超高速回転
ACT-200SM-S
スピンコーター 超高速回転ACT-200SM-S
1,000~60,000rpm±1%以下
φ20mm基板用試料台実績値
(Φ3~50mm基板対応)
精密自動滴下
ACT-300AⅡS
スピンコーター 精密自動滴下ACT-300AⅡS
マイクロシリンジポンプ
最大15台連結可能
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)
 
試料台加熱式
ACT-300AⅡ-H
スピンコーター 試料台加熱式ACT-300AⅡ-H
常温~150℃±5℃(PID制御)
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)

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スピンコーターのカスタマイズ製品をお求めの方はこちらから。多種多様なニーズに応えるため、仕様選択が可能です。

 

スピンエッチング装置・スピン洗浄機・スピン乾燥機に関するご案内はこちらから

スピン制御技術を活用したスピン洗浄機、スピン乾燥機、スピンエッチング装置も各御要望に合わせた製品が納入可能です。