超高速回転スピンコーター ACT-200SM-S

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MAX6万rpmの超高速回転 ACT-200SM-S

ACT-200SM-S超高速回転スピンコーター  

Φ3~φ50mm基板対応

特徴
MAX6万rpmの超高速回転仕様スピンコーター
φ20mm基板にて実績あり
インターロックセンサー付き安全カバーが標準装備
非常停止ボタンを標準装備
1ステップ×1パターン
回転時間設定は0.1-999.9secか1-9999sec
両面テープによる基板保持(真空吸着による保持方法はなし)
用途
液晶などのディスプレイ、CD/DVDなどの光ディスク、半導体、太陽電池、ナノテク/バイオ、住宅機材、最先端医療 関連
     

仕様

基板サイズ Φ3~Φ50mm基板対応
φ20mm基板における実績あり 試料台の外形サイズと最大回転数については要相談
カップ(内径) Φ200 アルミ製(オプションにてテフロンコーティング可)
本体外形寸法 355w×250d×326h(安全カバー閉時,アジャスタ付水平調整可能)
電源 1Φ 100V-10A (スピンドルモーター最大出力350W) 50/60Hz
回転制御速度/回転精度 1,000~60,000rpm/±1rpm以下 (φ20mm試料台負荷での実績値)、出荷時リミッタ設定可能
最高回転数までの加速時間 60,000rpm/2sec以下(φ20mm試料台標準負荷時)
基板固定方法 両面テープ(一般的な真空吸着による保持方法は無し)
ステップ数&パターン数 1ステップ×1パターン
回転時間設定:0.1~999.9sec or 1~9999sec
表示画面 液晶表示 : 設定回転数、設定回転時間の表示
制御方法 モータコントローラー、設定タイマーによる制御
本体外装カバー材質

SUS304 電解研磨(オプションにてテフロンコーティング可)

安全対策

インターロックセンサー付き安全カバー(回転中カバー開で自動回転停止)
非常停止ボタンを標準装備

重量 約18Kg
受注後の標準納期 約45日間(都度ご確認ください)
※仕様詳細はお打ち合わせの上、ご要望に沿うように決定してまいります。
※上記基本スペックは搭載オプション・仕様により変更になる可能性がございます。
※是非一度お問い合わせ下さい。

オプション

(価格単位:円)

試料台(チャック)
材質・耐薬データ

(納期 : 約20日間)

基板サイズにより、打ち合わせ後製作
材質選択:SUS304

別途御見積
安全カバー電磁ロック

レシピスタート~終了までの間、安全カバーがロックされて開けることができない

¥120,000
カップ カップ&インナーカップ内面テフロンコーティング ¥50,000

スピンコーター ご依頼の多い特注機

高精度・高回転
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スピンコーター 高精度・高回転ACT-300AⅡ-HS
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(Φ150/□110mm基板)
 
超高速回転
ACT-200SM-S
スピンコーター 超高速回転ACT-200SM-S
1,000~60,000rpm±1%以下
φ20mm基板用試料台実績値
(Φ3~50mm基板対応)
精密自動滴下
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スピンコーター 精密自動滴下ACT-300AⅡS
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Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)
 
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スピンコーター 試料台加熱式ACT-300AⅡ-H
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Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)

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