電気炉および周辺装置の設計・製造・販売・メンテナンスに対応

大型生産用炉から小型実験炉まで、真空炉大気炉特殊電気炉等、各種の試験研究用・実験用・ライン生産用に、あらゆる電気炉およびその周辺装置の設計・製造・販売・メンテナンスを行っております。

製品はお客様の使用状況、ご予算に合わせて細かく仕様決定を行い、お見積り、製造して納入させていただいております。

※当サイトに掲載している製品は納入実績として過去製造したものです。規格品、汎用品はございませんので、細かい仕様はお打ち合わせにてヒアリング、ご提案いたします。

ACA 小型高温高真空炉

特徴
  • ・二重冷却ジャケットにより、熱が外に伝わらない安全構造
  • ・メタル製構造により、急速な加熱や冷却が可能
  • ・実験用、生産用など多種多様な使い方が可能
  • ・コンタミネーションを極力減らしクリーンな雰囲気を持続

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電気炉 / 真空雰囲気炉 / ACA 小型高温高真空炉
低価格を実現した真空炉
最高温度 1800℃(Ar.N2.Va)
電気炉 / 真空雰囲気炉 / ACA 小型高温高真空炉
最高温度 2500℃(1800℃)
前面扉開閉方式でワークの出し入れが容易に行える構造
電気炉 / 真空雰囲気炉 / ACA 小型高温高真空炉
Φ6インチウェハ対応
(Φ150/□110mm基板)対応

真空雰囲気炉

真空中又は、ガス雰囲気中で製品の熱処理加工を行い高品質の製品を生産する電気炉です。
前面開閉型、横型、縦型など、また、小型から大型、超高温対応など、多種多様なニーズに応えられるようさまざまなラインナップを展開しております。

大気炉

乾燥炉

脱脂炉・連続炉・その他電気炉

導入事例

事例1
要望
20分で2000℃まで温度を上げたい
解決するために
製品のカスタマイズで対応
初めての試みのため4ヶ月程度お時間をいただきました。
理論上で出された数字などを実現出来る技術力やノウハウは合ったため、無事カスタマイズをすることが出来ました。
事例2
要望
温度を下げる速度を早くして欲しい
解決するために
断熱構造からシールド構造に変更して対応
温度をゆっくり下げる原因は、断熱材でした。そのため断熱材を取り、構造を変更しました。
また早く温度を下げるために強制冷却ユニットを開発し、よりご要望に応えられるように致しました。
結果、温度を下げる為に5時間かかっていたものを1時間に短縮ができるようになりました。