クラスとはどんな意味?

クリーンブースの清浄度を表す規格の一つ、米国連邦(FED)規格209D(FED-STD-209D)を理解するためには1立方フィート、1cf(キュービックフィート)という単位を知らなければなりません。
1cf=1立方f(フィート)=1辺が約30cmの立方体(28.32リットルの空気)と考えます。
この1cfに含まれる粒経(0.5μm以上)の微粒子(チリ・ゴミ)の数によってクラス分けしています。
FED規格では、空気1立方f(フィート)=1cfの中に粒経0.5μm以上のチリやゴミが100個以内であれば、クラス100となります。1,000個以内であれば、クラス1,000となります。
クリーンブース クラスって何?

清浄度のクラス比較

FEDのクラス

 ISOのクラス対応のアクティブクリーンブース
クラス1クラス3 
クラス10クラス4 
クラス100クラス5 鋼板製クリーンブース
クラス1,000クラス6 ACT-3-1015、ACT-3-1520
クラス10,000クラス7 ACT-4-1515、ACT-4-2020、ACT-4-2525、ACT-4-2025
クラス100,000クラス8 

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